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01 控制方式

即速度控制、转距控制、 PID 控制或其他方式。采取控制方式后，一般要根据控制精度进行静态或动态辨识。

02 低运行频率

即电机运行的小转速，电机在低转速下运行时，其散热性能很差，电机长时间运行在低转速下，会导致电机烧毁。而且低速时，其电缆中的电流也会增大，也会导致电缆发热。

03 高运行频率

一般的变频器大频率到 60Hz ，有的甚至到 400 Hz ，高频率将使电机高速运转，这对普通电机来说，其轴承不能长时间的超额定转速运行，电机的转子是否能承受这样的离心力。

04 载波频率

载波频率设置的越高其高次谐波分量越大，这和电缆的长度，电机发热，电缆发热变频器发热等因素是密切相关的。

05 电机参数

变频器在参数中设定电机的功率、电流、电压、转速、大频率，这些参数可以从电机铭牌中直接得到。

06 跳频

在某个频率点上，有可能会发生共振现象，特别在整个装置比较高时；在控制压缩机时，要避免压缩机的振点。

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APPLIED MATERIALS 0190-35066 DUAL GAS LEAK DETECTOR

APPLIED MATERIALS 0100-35054 CHAMBER INTERFACE BOARD 

AMAT 0660-01699 Convectron Module card, GP VGC 332148

40531 A9164 REV C BOARD

AMAT 0100-35250 CHAMBER INTERFACE DPS CENTURA BOARD 

EMC-1 94V0, BM23475L11R REV B

PRI EMC-1 94V0, BM23475L11R, PC23475 REV B COMP SIDE

HP E4401-60014 SERIAL-PARALLEL BOARD, PCB

AMAT 0100-00014 OPTO DETECT REV. J

TWO MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE

3 MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE

FOUR MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE

Accuray MCC/IFCC I/F, part # 013509 REV: J PCB

TWO MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE

PureDigital Mass Flow Controller 6256, WF6, lots of 2

BROOKS Mass Flow Controller 6256S, H2, 2SLM, used

PDL OXIDE HDSIOC 1 NOVELLUS 02-273739-00 VERSION 4.72

ISIOC PDL OXIDE 2 INTERLOCK NOVELLUS 02-269177-00, Rev1

BETTCHER PROCESS SERVICES RINSE CONTROLLER MODEL 985D

Astec Power supply MP1-3Y-2Q-4NN-0?0, Part # 73-690-0267

SEMI GAS SYSTEM AUTOMATIC SWITCHOVER AND CYLINDER SCALE

BROOKS Mass Flow Controller 5850, HCL3, 0-20 MLST/MIN

UESHIMA BROOKS MFC 5877 Z, BCL3, 200 SCCM

LINTEC mass flow controller LM-1100M-8, TEOS 0.1 g/min 

MICRO COMPUTER specialists, PROMDISK 66700901 REV B, 

LINTEC Liquid flow controller, TEOS, 0.1g/min used

PRI BM06241 COMP SIDE REV F PB02807 BOARD

AMAT AFC 550, H2, 30 SLPM used

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