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 A06B-6066-H005导压管堵塞问题 

在压力测量中，有时指示的压力不随工况而变化。打开排污阀后只有少量的污水后就没水流出，这是由于水质或压缩空气中会带有少量的浮尘，随着水流而进入导压管沉淀。日积月累的运行，导压管的管壁会腐蚀积垢，出现堵塞现象。

变送器设备本身故障问题 

在润滑油压力的测量中，由于润滑油压力信号参与停机联锁控制。润滑油压力变送器测量所得的信号传输给计算机，一方面进行显示，另一方面此信号还通过程序比较，当压力低于0.06MPa时，发出缺油停机信号停机。

从润滑油压力信号趋势图上看到压力是瞬时直线下降而导致跳机的，检查变送器后发现变送器的内部模块损坏。虽然每年都对变送器进行定期的校验，检定合格后用于生产。由于变送器经过几年的运行后，其精度、灵敏度、稳定性等性能指标都会逐渐降低，内部的膜片、集成块也会损坏发生故障。

存在干扰问题 

在空压机排气压力的测量中，排气压力信号的波动较大。校验变送器后符合精度要求，排除变送器本身的故障；检查导压管及接头也没有破损、漏气，信号电缆的连接处接触良好。但电缆的走向是通过高配室旁边的电缆桥架引入控制室的。周围存在着大量的电磁干扰。

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3 STEC MFC SEC-4400M BCl3 100 SCCM, used 

2 STEC MFC SEC-4400MC N2, WF6, used 

4 STEC MFC SEC-4400M Cl2, HBr, used

5 STEC MFC SEC-4400M C3F6, WF6, SiH4, used

7 STEC MFC SEC-4400M, O2, SiH4, Ar, BCl3, Cl2, used

6 STEC MFC SEC-4400M, NH3, CF4, CHF3, used

2 Porter Mass Flow LB-366 NVL-003FA 5.0 ML/min TEOS

UNIT Series 8560 MultiFlo 500 PSI MAX/ 3500 kPa

Aera FC-7810CU 20 SLM O2

FloCat GFM37S-TCDL2 HCl 0-50, L/min max 500psi/3400 KPa

LAM 839-011025-1 NuPro Manometer ISO

2 GaSonics A90-031-03 PCB Plasma/Lamp Failure Detection

New AMAT 0020-70223 Endura-Centura Chamber Blank Off

New AMAT 4020-01094 GLF 4000 VM4 4HS-P7442-0 

AMAT 0090-00513 Pressure Switch, Harness Assy

2 HP 10400A Miniature Passive Probes

MKS 122AA-01000BB, Baratron 1000 Torr

Keyence Sensor Fiber 7-39-79386, FU-51TZ (2000)

SVG 99-80266-01 Station CPU Lot of 2

20 New EEJA CP-032 Vacuum, Pad, #2 E393-2506K

AMAT 1140-90114 PSU, 45W, Multi, O/P

New Eutegris Gatekeeper CE2500 KF14R Inert Gas Purifier

Leyblod Inficon Sky Capacitance Diaphragm Gauge

AMAT 0840-90137 LED Ultra Bright 8MM, Lot of 2

Aera MFC TC FC-980C, SiH4 1 SLM with Calabration SHEET

Aera MFC TC FC-980C, MULTI, MULTI-1

Aera MFC TC FC-980C, BCL3,100 SCCM

Aera MFC, 10 RA FC-980C, SiH4, 20 SCCM

Aera MFC FC-770AC Ar 200 SCCM

Aera MFC FC-770AC, N2 200 SCCM

Aera MFC, TC FC-980 PH3/He 500 SCCM 800PPM

UNIT 1660 UFC-1660 He 10 SLPM with calabration sheet

Brooks Pure Digital 6256, Mod # 6256B7BA2ADLAA

Brooks Mass Flow Controller 5964, Mod # 5964

OMEGA CN371-KC2, NEW

Brooks MFC 6256S, Mod # 6256SBZVCLA, Gas CH3F

NUPRO 6LV-BNBW4-O with VCR connection

Flow Meter and Pressure gauge, Norgren polycarbonate 

New MRC AlCu Target from Williams Advanced Materials

MKS 109070028CE, Vacuum gauge, New

Reliance Conductor Small D-C motors

AE RFPP LF-5 RF Generator and RFPP ATL-100RA RF Match

9 New Schneider Electric Circuit breaker 20A

N-48 KEYENCE TERMINATOR 0106043 lots of 3

7 New AMAT 0680-02000, CB MAG Therm, 1P

BELKIN OMNI VIEW FCKG240354 QG

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