R533-665

R533-665

R533-665进行功能测试。接线完成后，进行继电器的功能测试。通过对控制电路和电器设备的电气参数进行测试，可以检验接线是否正确。对继电器的开合状态及输出信号进行测试，以验证继电器是否正常工作。

R533-665

Kokusai Vertron 3 VDF LPCVD，

KLA 2131 ，

Varian E1000 ，

Plasma-Therm Industrial Products Core Interface，

Materials Research Corporation Eclipse Star Parts Tool，

LAM Research AC Distribution Unit 685-029442-140 厦门，

Ultrapointe 1300R ，

CFM Water Purification System Full Flow 4/97，

AMAT Centura Mainframe，

LAM OnTrak DSS-200，

Therma-Wave Opti-Probe 2600B，

Varian E1000 ，

Tokyo Electron ACT 12 ，

Nova NovaScan 3060 0190-00492，

Nova NovaScan 3030 0190-00563，

KLA-Tencor Prometrix FT-750 ，

Semitool Wet Solvent Stripper WST308A ，

Coherent ExciStar S Laser 1127985  0190-B0150锐，

LAM Rittal Corp. AC Distribution Unit ES5984 锐，

Rudolph MetaPulse XCu 200mm Metrology Tool，

KLA-Tencor CRS 3000 ，

Tokyo Electron ACT 12 Process ，

Nikon Card Cage Assy. APGCi 7500 RS013-497，

Verteq 1800 SRD Tool 1800.6 1800-6AR，

CTI-Cryogenics High Capacity Compressor 0190-07137厦门，

Edwards STP-A2503PV TurboPump B752-01-01 3620-00007厦门，

TEL ACT 12 Wafer Edge Exposure ，

Nova NovaScan 420 MU Scanner 0190-77203，

Tokyo Electron ACT 8 AC Power Box PB1-U125-01-T，

Tokyo Electron ACT 8 SOG AC Power Box PB1-U100-WA-DT厦门，

Rudolph Technologies MetaPulse 200 ，

Tokyo Electron ACT 12 ，

MicroVision 200mm Wafer Sorter MVT 7080 ，

Genus Mainframe 7000，

Tokyo Electron ACT 12，

LAM OnTrak Synergy Integra Wafer Scrubber Parts System，

TEL ACT 12 Coat，

Schlumberger ITS9000FX，

KLA Interface 300DFF1P 9700-9129-01，

KLA Interface 300DFF1P 9700-9129-01，

Alcatel Helium Leak Detector 180 ，

Alcatel Adixen ASM 180TD，

ENI Spectrum B-10513  0190-17877，

ENI Spectrum RF Generator B-10513 0190-17877，

TEL ACT  CT2980-415508-W1，

AMAT Quantum Heat Exchanger 0240-61428 ，

Tokyo Electron TEL ACT 12 AC Power Box PB122-U300-02W，

Edwards Vacuum Turbopump STP-XH2603P 3620-00368，

TEL ACT 8 SOG AC Power Box PB1-U100-WA-DT，

MKS RPG-50Z  0920-00133，

Rorze Robot RR721L202H-H30-1CA 0190-01152，

SMC Thermo-Con INR-244-244U-670，

AE Ovation  3150861-002 0190-27049，

Kensington 200mm Wafer Sorter Mapping Station CSMT-4厦门，

Takatori ATRM-2100 ，

ENI Nova  50A-01M5，

Tokyo Electron ACT  PB1-U125-01-T，

TEL ACT 12 Coat ，

Kawasaki Wafer Robot 3NS410B-D501 0190-24909，

ATS M-Pak Temp. Control Chiller System MP40F-DI，

Kobelco Leo LTA-1200 ，

Advanced Thermal Sciences Chiller MP40B-GL，

Mitsubishi RV-E14NHC-SA06 ，

AE APEX Generator 0190-15552 ，