2711P-B6M20A

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ENI DCG-200 DCG-200E ，

Brooks PRI Wafer Robot WTM-511-2-FWS02-V1，

AE Pinnacle 6kW DC Power Supply 3152412-218E ，

Brooks PRI Robot WTM-511-2-FWS02-V1-CU ，

Brooks Fixload Load Port Fixload 25，

ENI Genesis GMW-50 3kW RF Generator 0190-13202，

ENI Genesis GHW-12Z RF Generator 0190-25527，

TEL ACT 8 SOG Absolute Filter CT2980-090863-11 ，

TEL ACT 8 FFU Fan Filter Unit CT2980-091974-11，

TEL ACT 8 FFU Fan Filter Unit CT2980-090796-11，

AE Pinnacle 6kW DC Power Supply 3152412-218G ，

SMC Heat Exchanger INR-498-P002 ，

AE Apex 5513 0190-11209，

AE Apex 3013 RF Generator 3kW 0920-00049，

TEL ACT 12 IRA Driver Assy CT2987-416031-W4，

TEL ACT 8 IRA Driver Assy CT2987-406077-15 ，

AE Apex 3013 RF Generator 3kW 0190-11208，

AE Apex 3013 RF Generator 3kW 0190-09837，

AE Apex 3013 RF Generator 3kW 0190-11208，

AE Apex 3513 3.5kW RF Generator 0920-00051，

AE HFV 8000 8kW RF Generator 3155083-192 0190-15553，

AE Pinnacle 6kW 10kW DC Supply 3152412-116 0190-13866，

AE Ovation VHF 2760 RF Generator 3150292-005 0190-14887，

AE Apex 3013 RF Generator 3kW working 0190-09837，

SMC HE Control Unit Assy INR-498-P004 0190-18420，

AE Pinnacle 6kW 10kW DC Supply 3152412-116 0190-07172，

MRC Eclipse Star RF High Voltage Source A118144，

OneAC SVG 90 Power Conditioner CLD31750SPL，

Brooks PRI Wafer Robot WTM511-2-FWS02-V1，

Brooks PRI Automation Robot WTM-511-2-FWS02，

AE Pinnacle 6kW 3152412-219C，

AE HFV 8000 8kW RF Generator 3155083-192 ，

Hitachi I900SRT Wafer Inspection Transfer Robot，

AE Navigator RF Match 3155132-001D ，

AE Apex 3000/13 RF Generator 3kW ，

Brooks Genus Right Vacuum Load Lock 001-9300-54，

TEL ACT 12 Temp Control REX-B870-CS1B CT2986-430279-W1，

Nikon NSR S202 ，

Equipe PRI Robot Controller ABM-405-1-S-CE-S293，

Newport Kensington Robot 15-3701-1425-25，

AE HFV 8000 RF Generator 3155083-109B ，

AE HFV 8000 RF Generator 3155083-109A ，

AE HFV 8000 8kW RF Generator 3155083-180A ，

PRI Automation Robot ABM-405-1-S-CE-S293 ，

AE RFPP RF25M 2500W RF Generator 3150048-000，

LAM Research Electrical Control Panel 685-017705-027，

Comdel CLX-2500  0190-02702，

AE Remote Plasma Gen. 3151801-004A ，

Comdel CLX-2500 350kHz-LF ，

Comdel CLX-2500 LF RF Gen 2500W FP1335R4 0190-01370，

Comdel CLX-2500 350KHz-LF FP1336R3，

Shimadzu Turbo Molecular Pump TMP 3403LMC，

Coherent IndyStar 193 Laser Discharge Unit 0190-B0160，

Osaka Vacuum Turbopump TH542 untested 3620-01353，

ENI OEM-12B3 RF Generator 1250W 0190-76028，

ENI OEM-12B RF Generator 1250W 0190-76048，

Edwards iL70 Vacuum Pump LCDP 70 QMB250，

AE RFPP LF-10WC RF Generator 3150076-002F，

LAM Research Electrical Control Panel 685-017705-002，

ENI OEM-12B RF Generator OEM-12B-07 ，

ENI OEM-10B RF Generator OEM-10B-8，

ENI OEM-12B3  0190-76028，

ENI Spectrum RF Generator B-5002 5kW 0190-15320 ，

ENI OEM-12B RF Generator  0190-70080，

KLA-Tencor AIT2 CPM Power Assembly 0218541-000，

MKS ENI Spectrum B-5002-02 5kW RF Generator 0190-15320，