A06B-6089-H205

A06B-6089-H205

A06B-6089-H205半导体行业的生产要求很高。光学计量解决方案是高速测量和缺陷检测的选择，近年来人们已经对一些技术进行了调整，以满足该行业的特殊要求。光学计量设备现在已经成为半导体生产中的重要工具，可以检测日益复杂和小型化的3D结构，以及生产的厚度要求低至纳米的薄层。

一个令人感兴趣的应用是对半导体晶圆上薄膜层结构的外延生长进行原位控制。该工艺对于VCSEL、μLED或功率晶体管等产品的制造是不可或缺的，晶圆温度、反射率、生长速率和层厚度、生长材料的化学成分和晶圆弯曲度等重要参数需要控制。LayTec（德国柏林）为该应用开发了不同的集成光学计量解决方案，包括光学工具、特殊算法和用于分析测量数据的材料数据库（图3）。LayTec的工具被集成到沉积系统中，例如金属有机化学气相沉积（MOCVD）系统，并被用于半导体器件制造流程的前端。它们被集成到控制回路中，用于实时反馈控制、批次控制以及在此过程中的故障检测。

A06B-6089-H205